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石英玻璃管的類型及清洗方式

發布時間：

2021-11-12

清洗用過的管子，有的要1到2天時間。沖刷石英管內壁時不要按下"水槽啟動"按鈕，假如已經按下了應再按下"水槽結束"按鈕。沖刷2分鐘后再繼承從管口方向沖刷。拉下防護門，然后將水槽清洗時間設定為30min，按下"水槽啟動"按鈕。沖刷時應仔細當真，不要有殘留未沖到的區域。

石英管清洗方式：

1.清洗職員必需佩戴好防護眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機靠近里面的槽內，管口朝向制絨間，管尾指向擴散爐所在方向。

2.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準。重點沖刷內壁。

3.重復第6步，再清洗一遍。

4.水槽結束后，將水槽內的水排空。

5.清洗石英管的整個過程應嚴格按照擴散工序相關工藝安全尺度進行。

6.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。

7.清洗槽內假如存有以前用過的氫氟酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由出產職員調配）；假如原有的氫氟酸溶液很臟，則應全部排空并洗凈槽體，然后通知出產職員配液；假如槽內無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請出產職員配液。

8.將管口和尾管用專用鋁箔密封。

9.酸槽清洗時間的設定：

新的石英管只需清洗30min左右。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖刷管內壁。拉下防護門，將酸槽清洗時間設定為30min，按下控制面板中"酸槽啟動"按鈕。在酸槽未啟動的情況下，應每隔2個小時將石英管旋轉180°。假如是用過的石英管，應以將管內壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為準。 2分鐘后，將石英管旋轉180°，再用同樣方式沖刷2分鐘。約5min后用水槍沖刷管尾的四個小通氣管，重點同樣是管內壁。此步清洗時間應不少于15min，以管內外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標志。

10.清洗職員戴好防護眼鏡和手套，將石英管從酸槽掏出，輕放入水槽。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖刷石英管內/外壁。將水槽內的水排空后用水槍沖刷石英管內外壁約5分鐘。